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            掃描電鏡SEM基本操作方法

               掃描電鏡SEM的基本操作

              要獲得一張清晰的電鏡照片,必須要能夠做好*基本的電鏡操作、以及針對各種樣品做出工作條件的優化。

              基本操作包括熟練的調節對焦和消像散。對焦相對容易,改變焦距,直至圖像*清楚的時刻即為合焦。在偏離焦距較多的時候可以用較高的靈敏度,在合焦點附近調低靈敏度,以便進行精確對焦。

              基本操作中消像散相對來說比較麻煩,特別是像散很大時,對于很多初學者來說調節比較困難。不過前面已經介紹了像散的產生,電子束由于不再是圓形,所以在像散未消除的情況下,圖像是不清晰的。不過其中有兩個特殊的位置,即光學中的子午和弧矢,在這兩個位置上束斑完全成正交的直線。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。

            蔡司掃描電鏡

            蔡司掃描電鏡

              所以反映在電鏡圖像上,改變焦距的時候會出現兩個嚴重的拉伸,拉伸方向可能因樣品而不同,但是這兩個拉伸方向一定正交。所以此時將焦距調節至兩個拉伸明顯狀態的中間位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,進行消像散線圈的調節,先調X或Y中的一個維度,待圖像達到*清楚后再調節另一個維度。

              有關拉伸方向的判斷并不困難,試樣中的各種特征點都可以作為判斷依據,比如孔洞或者顆粒(如圖5-2),或者樣品邊緣,都可以輕易的進行判斷。尤其在像散比較大時,不要焦距和像散的兩個維度亂調一氣,以免像散過大而完全無從判斷。

            蔡司掃描電鏡

              圖5-2 孔洞、顆粒的像散判斷

              消像散、對焦是掃描電鏡操作中*基本的要求,在進行圖像觀察時要時刻保持合焦和無像散的狀態。

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