掃描電鏡的結構及主要性能對比
掃描電鏡的結構及主要性能
掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分。鏡體部分由電子光學系統、信號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成。
圖1 掃描電鏡結構示意圖
1 電子光學系統
由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
2 信號收集及顯示系統
檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號,然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號,F在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導管和光電倍增器所組成。
3 真空系統
真空系統的作用是為保證電子光學系統正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
4 電源系統
電源系統由穩壓,穩流及相應的安全保護電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
5 各類顯微鏡主要性能的比較
表1 各類顯微鏡性能的比較
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