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            掃描電鏡的結構及主要性能對比

               掃描電鏡的結構及主要性能

              掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分。鏡體部分由電子光學系統、信號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成。

            蔡司掃描電鏡

              圖1 掃描電鏡結構示意圖

              1 電子光學系統

              由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

              2 信號收集及顯示系統

              檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號,然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號,F在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導管和光電倍增器所組成。

              3 真空系統

              真空系統的作用是為保證電子光學系統正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

              4 電源系統

              電源系統由穩壓,穩流及相應的安全保護電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。

              5 各類顯微鏡主要性能的比較

            蔡司掃描電鏡

              表1 各類顯微鏡性能的比較

              蔡司掃描電鏡作為電鏡行業的先行者,一直以其高清晰度的高端品質深受用戶喜愛,若您想要了解更多,歡迎來電或在線咨詢4001500108

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