掃描電鏡的結構及主要性能對比

 　　掃描電鏡的結構及主要性能

　　掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分。鏡體部分由電子光學系統、信號收集和顯示系統以及真空抽氣系統組成。

　　圖1 掃描電鏡結構示意圖

　　1　電子光學系統

　　由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

　　2　信號收集及顯示系統

　　檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號，然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號�，F在普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導管和光電倍增器所組成。

　　3　真空系統

　　真空系統的作用是為保證電子光學系統正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

　　4　電源系統

　　電源系統由穩壓，穩流及相應的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。

　　5　各類顯微鏡主要性能的比較

　　表1 各類顯微鏡性能的比較

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